质量流量控制器是气体传输系统中最重要的核心零部件，其用于气体流量的精确控制。MTL自主研发的压力式MFC提供高精度、快速响应的气体流量控制，并在流量测量的基础上增加流量校准系统，实时校准流量精度，确保流量的稳定性和重复性。
功能和特点
◊ 多气体、多量程的压力式质量流量控制系统
◊ 优异的密封性能
◊ 压力不敏感MFC
◊ 高精度
◊ 可自校准流量
◊ 双重流量确认，并自纠正流量
◊ 快速开启，小于0.3S
◊ 支持多种通讯协议
◊ 不同配置适应各种应用场景
