充分考虑维护的便利性、长时间运行的稳定性
在半导体以及相关行业中，液态源的应用越来越广泛，但对于使用端来讲，需要气态物质进入反应腔体，因此，液态源的汽化和传输是不可或缺的重要步骤。MTL多年致力于液体汽化和传输的研发，在鼓泡、汽化和闪蒸等各种汽化方式上积累了丰富设计经验和产品实例。
功能和特点：
◊按实际应用选用鼓泡、直接汽化或者闪蒸的汽化方式
◊独创的实时补液系统使液面始终维持在同一高度，补液时无压力变化
◊双重鼓泡系统保证了蒸汽浓度的稳定性
◊丰富的加热设计经验适用于不同的汽化模式
◊丰富的液体属性资料，理论和试验指导设计
◊按SEMI安全设计，可靠的安全性让客户放心使用
◊充分考虑维护的便利性
◊长时间运行的稳定性
