VCR 型气体控制柜以其高洁净度的特点和优异的密封性能广泛用于半导体及其相关行业,GASBOX 提供高精度的流量控制,其优异的密封性能和高洁净度的特点使其成本半导体以及相关行业的标准配置。
功能和特点
◊ 优异的密封性能
◊ 高洁净度
◊ 兼容各种特气
◊ 供应链成熟,零部件可替代性强
◊ 设计思路简单,有各种成熟案例