IGS 型气体控制柜

IGS型气体控制柜为VCR型气体控制柜的升级产品，IGS的高集成度的设计理念实现了气体控制柜的小型化，节约昂贵的无尘室空间。除此以外，其独特的设计在保证洁净度的基础上，具有更易于维护的特点，广泛用于半导体行业高端制程。IGS的产品种类繁多，设计灵活多变，不同的设计思路决定了气体控制柜的功能和成本，这对设计工程师是一个巨大的挑战。MTL积累了20余年的设计经验，有大量的设计数据库支持完成IGS型气体控制柜的设计，为客户提供完整的解决方案。